- быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
- RTCVD
- rapid thermal chemical vapor deposition
быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- RTCVD
- rapid thermal chemical vapor deposition
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
